Tutkimusryhmä tekee sekä kokeellista perustutkimusta että soveltavaa tutkimusta hyödyntäen energeettisten ionien ja materiaalien välisiä vuorovaikutuksia. Tutkimuksen painepistealueet ovat:

  • Nano- ja mikromittakaavan rakenteiden valmistaminen ja muokkaus ionisuihkujen avulla
  • Ionisuihkujen käyttö ohutkalvojen ja erilaisten materiaalien syvyysprofiloinnissa
  • Ohutkalvojen kasvattaminen atomikerroskasvatus-menetelmällä (ALD)
  • Syklotronin suurienergisten suihkujen käyttö perustutkimuksessa

Lisää tietoa ryhmän toiminnasta löytyy sekä ryhmän englanninkielisiltä tutkimussivuilta että ryhmän käytössä olevien laitteistojen esittelysivuilta. Alla on muutamia valikoituja julkaisuja viime vuosilta.

 

Valikoidut julkaisut

Simulations on time-of-flight ERDA spectrometer performance
Jaakko Julin, Kai Arstila, Timo Sajavaara
Rev. Sci. Instrum. 87 (2016) 083309

The detector, data acquisition, and analysis software development combines experiments and simulations to yield a better understanding and higher performance of the ion beam analysis methods.

The α and γ plasma modes in plasma-enhanced atomic layer deposition with O2–N2 capacitive discharges.
M. Napari, O. Tarvainen, S. Kinnunen, K. Arstila, J Julin, Ø.S. Fjellvåg, K Weibye, O. Nilsen, T. Sajavaara
Journal of Physics D: Applied Physics 50 (2017) 095201

Two distinguishable plasma modes in the O2–N2 radio frequency capacitively coupled plasma (CCP) used in remote plasma-enhanced atomic layer deposition (PEALD) were observed. The growth rate, thickness uniformity, elemental composition, and crystallinity of the films were found to correlate with the deposition mode. In remote CCP operations the transition to the γ mode can result in a parasitic discharge leading to uncontrollable film growth and thus limit the operation parameters of the capacitive discharge in the PEALD applications.

Broadband Ultrahigh-Resolution Spectroscopy of Particle-Induced X Rays: Extending the Limits of Nondestructive Analysis
M. R. J. Palosaari, M. Käyhkö, K. M. Kinnunen, M. Laitinen, J. Julin, J. Malm, T. Sajavaara, W. B. Doriese, J. Fowler, C. Reintsema, D. Swetz, D. Schmidt, J. N. Ullom, I. J. Maasilta
Phys. Rev. Applied 6 (2016) 024002

A paper reporting the capabilities of high-resolution PIXE when multi-pixel transition edge sensor (TES) is used as an energy detector.